688138清溢光电专利技术保护趋势

2019年11月20日上市，688138清溢光电，深圳清溢光电股份有限公司目前市值53.47亿元，2022年三季度营业收入5.475亿元，净利润0.6914亿元，研究经费0.2955亿元。所属行业：半导体-半导体材料。

主营产品：从事掩膜版的研发、设计、生产和销售业务。

1）实用专利：一种掩模版mura标定装置  申请号：CN202221105024.X  申请日2022年5月10日 技术效果：本实用新型所提出的一种掩模版mura标定装置，结构简单，实现了对于mura现象的位置准确标定和准确重现功能，便于与设计图形作对比，以及作进一步分析，提高掩模版生产质量。

2）实用专利：一种用于光罩防尘膜的透气孔空气隔离结构  申请号：CN202220572573.1  申请日2022年3月16日 技术效果：透气孔与放置孔导通，过滤器固定收容于放置孔内，隔绝组件收容于透气孔内并与透气孔的孔壁紧密连接，隔绝组件一端遮挡过滤器；在对光掩模版进行空运前，可以先将隔绝组件取下，使得内腔内的气体能够与外部气体进行交换，避免气压的变化从而导致光罩防尘膜产生破损或吸到光掩膜版表面的情况发生。

3）实用专利：一种手持式铬板清洗电动刷子  申请号：CN202220020929.0  申请日2022年1月5日 技术效果：使用该手持式铬板清洗电动刷子对铬板进行清理更加快速、省力，且较人工使用无尘布更加均匀，提高了提高清洗效率和清洗效果，设计的构造轻便且手柄便于清洗操作时的手持，PVA刷子的PVA刷是非常洁净且遇水非常柔软的刷子，在同时喷清洗液和水的情况下借助PVA刷子的柔性和变形，可更加充分的清洗铬板表面，进一步提高了清洗效果。

4）实用专利：一种大尺寸MASK转运台车及系统  申请号：CN202123036035.5  申请日2021年12月6日 技术效果：本实用新型所提出的一种大尺寸MASK转运系统及系统，减轻了工人操作的劳动强度，提升了大尺寸MASK在各工序中的转运效率，降低了大尺寸MASK运输过程中的意外碰撞损伤的风险。

5）实用专利：一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具  申请号：CN202121796789.8  申请日2021年8月3日 技术效果：通过设置八个支撑座对掩膜版的侧面进行固定，能够提高对掩膜版支撑的稳定性，避免在清洗过程中施力不均匀而导致掩膜版从夹具内部翘起，不仅增加了清洗的安全性，同时也增加了对掩膜版的清洗效率。

6）发明专利：一种MASK目视检查机  申请号：CN202011324027.8  申请日2020年11月23日 技术效果：该MASK目视检查机在取放版、不同规格调整、角度旋转的操作均实现自动操作，可针对MASK尺寸进行装夹调整并兼容不同规格的MASK，检查过程角度可自动旋转并任意角度停止，可一次装夹检查正反面及在不同角度检查，与上下版机械手实现无缝对接，省去人工抬版的过程并实现MASK车间自动化。  

7）发明专利：一种提升光刻速度的方法、装置、存储介质及终端设备  申请号： CN202010790774.4 申请日2020年8月7日 技术效果：本发明，当扫描宽度减小时，栅式光阀每一帧都只装载有效像素数据，从而提升单位时间内装载的帧数，提升栅式光阀的刷新率。  

8）发明专利：一种异形玻璃掩膜版生产方法  申请号：CN202010639006.9  申请日2020年7月6日 技术效果：本发明实施例提供的异形玻璃掩膜版生产方法实现了异形玻璃掩膜版生产，尤其通过异形加工前的掩膜版保护和异形加工后的清洗，使得加工过程中不损坏掩膜版的功能。

9）实用专利：一种机械手取放MASK对接定位装置  申请号：CN202020585215.5  申请日2020年4月20日 技术效果：本实用新型实现机械手与CATCHER定位机构的快速定位，便于MASK及其包装箱的转运，减轻劳动强度，提升转运效率，减少碰损风险，适合推广。

10）实用专利：铬版转移用夹具  申请号：CN201922105959.2  申请日2019年11月29日 技术效果：本实用新型可实时调整对于铬版的夹持力，实现对于铬版的有效夹紧，避免铬版滑落现象的发生，同时可以实时对夹持力进行监测，通过挂钩实现二次防护滑落保护。  

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