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【定位科创让企业上市更快/市值更高】688147微导纳米专利技术保护趋势

浏览: 发表时间:2023-01-06 15:12:04

688147微导纳米专利技术保护趋势

20221223日上市,688147微导纳米,江苏微导纳米科技股份有限公司目前市值127.25亿元,2022年三季度营业收入3.851亿元,净利润-0.0326亿元,研究经费0.9355亿元。所属行业光伏设备-光伏加工设备

主营产品:以原子层沉积(ALD)技术为核心,主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发,生产和销售,向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务

1)发明专利:基片湿法输送装置  申请号:CN202211181485.X  申请日2022年927 技术效果:本申请的输送装置结构简单、铺陈后的水膜平整度高,且设备结构不与基片上表面接触,不会破坏基片上的水膜,解决现有技术中基片输送结构复杂、水膜平整度底、且容易破坏水膜的问题。

2)发明专利:沉积薄膜的方法和设备、薄膜以及太阳能电池  申请号:CN202211164982.9  申请日2022年923 技术效果:提供具有第一表面的基板;以及通过多个脉冲步骤对所述基板的所述第一表面施加至少一种化学反应物,以在所述第一表面上沉积薄膜。所述沉积薄膜的方法可以提供高质量的薄膜,从而提高包括所述薄膜的硅光伏的能量转换效率。

3)发明专利:除尘装置及真空镀膜设备  申请号:CN202211150361.5  申请日2022年921 技术效果:在粉尘经过除尘装置时,能够在温度场和静电场的双重作用下,将粉尘收集至第二除尘组件上,而不会堵塞整个气体流通通道,确保了真空镀膜设备的有效抽速,提高了镀膜工艺的稳定性和大规模镀膜品质的重复性。

4)发明专利:基片载具及炉管镀膜设备  申请号:CN202211144695.1  申请日2022年920 技术效果:本发明的基片载具通过在固定架上设置至少三个支撑部,并在支撑部上沿竖直方向设置若干个外沿部,使得能够通过各个支撑部上的外沿部对基片进行至少三点的支撑,使得基片能够水平或与水平面呈一定的倾角设置,这样使得基片之间的空间更容易流动气体,且气体的流动对基片的侧面机会没有作用力,极大的降低气体流动对基片的冲击,降低基片翘曲的可能,保证成品率。

5)发明专利:一种混气装置、镀膜喷淋装置及半导体镀膜设备  申请号:CN202211115481.1  申请日2022年914 技术效果:本发明通过在预定承担混气作用的管道内填充所述基材主体,得到蜿蜒前进的延展气道,使参与气体混合的气体在所述延展气道内前进的距离远长于所述基材主体填充的混气管道的管道段的长度,实现不同气体的充分混合,提高混合气体的均匀性。

6)发明专利:一种改善等离子体处理均匀性的方法及其应用  申请号:CN202211108914.0  申请日2022年913 技术效果:本发明提供的改善等离子体处理均匀性的方法可以提高等离子体处理的均匀性,在氧化铝镀膜工艺中掺入含氢气体,可以显著改善氧化铝的镀膜厚度均匀性,扩大了工艺参数窗口,保持氧化铝高水平钝化特性,以适用于器件应用,应用在电池制备过程中可以有效保证电池转换效率。

7)发明专利:一种喷淋组件、半导体设备及晶片的加工方法  申请号:CN202211105794.9  申请日2022年99 技术效果:本发明提供一种喷淋组件、半导体设备及晶片的加工方法,提供环形喷淋板,该喷淋板的环形区形成多个独立的喷淋区,可以根据需要对通入的反应物的流量和浓度等分别进行调节,这些喷淋区环形分布,可以设置于中心进气口的边缘区域,可以根据需要对不同的喷淋区通入的反应物的流量和浓度等分别进行调节,进而调整晶片表面工艺参数的一致性,从而达到提高晶片边缘区域与中心区域沉积厚度的均匀性的目的。

8)发明专利:气体压力探测装置及沉积设备  申请号:CN202211034485.7  申请日2022年826 技术效果:本申请实施例提供的气体压力探测装置不仅能够探测沉积设备中的反应区域内的气体压力,还避免影响反应区域内的工艺处理对象的产品质量。

9)发明专利:反应腔体门盖组件及镀膜设备  申请号:CN202211009529.0  申请日2022年822 技术效果:本申请涉及机械设备技术领域,提供一种反应腔体门盖组件及镀膜设备。反应腔体门盖组件包括盖体、喷淋板、连接轴。盖体上设置有通孔。连接轴用于装配喷淋板。连接轴的一端设置固定部。连接轴通过通孔可拆卸固定于盖体,且能够从盖体背对喷淋板一侧利用通孔进行拆卸,以简化对喷淋板的拆卸。

10)发明专利:镀膜设备  申请号:CN202211009911.1  申请日2022年822 技术效果:镀膜设备包括封闭门、安装板、喷淋板、调节件。安装板滑动设置于封闭门。喷淋板设置于安装板上。调节件设置于封闭门和/或安装板上,用于调节安装板相对于封闭门的位置。本申请通过调节件调节安装板相对于封闭门的位置,使得喷淋板封闭门的相对位置可调节。  

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