电子气体 二氯硅烷
Electronic gas-Dichlorosilane
国家标准项目 修订 推荐性
国家标准项目《电子气体 二氯硅烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 、安徽湛为气体有限公司 、湖北晶星科技股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、大连大特气体股份有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、联雄投资(上海)有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。
基础信息
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 12个月
- 公示开始日期
- 2026-09-20
- 公示截止日期
- 2026-10-20
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
起草单位
与国家标准同步制定外文版
| 编号 | 语种 | 翻译承担单位 | 国内外需求情况 |
|---|---|---|---|
| 1 | EN | 洛阳中硅高科技有限公司 | 二氯硅烷（DCS）作为半导体与光伏产业的核心前驱体材料，广泛应用于半导体芯片外延生长、3D NAND薄膜沉积、化合物半导体缓冲层制备及光伏N型电池阻挡层工艺等关键环节。随着全球半导体制造进入2 nm及以下先进制程、3D NAND堆叠层数突破300层，以及光伏N型电池技术大规模普及，下游产业对二氯硅烷的纯度、杂质控制及质量稳定性提出了更高要求。目前，国际主流市场对电子级二氯硅烷的需求已向6N级及以上高纯产品集中，先进制程对金属杂质、卤代烃等超痕量杂质的控制要求日益严格。我国作为半导体与光伏生产大国，亟需通过标准升级，提升国产高纯二氯硅烷的国际竞争力，推动产品出口与产业国际化发展。因此，申请立项制定《电子气体 二氯硅烷》国家标准英文版，对于促进我国电子气体标准与国际接轨、服务全球供应链具有重要现实意义。 |
范围和主要技术内容
本文件规定了二氯硅烷的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相关的试验方法，提供了二氯硅烷的安全信息。 本标准适用于电子工业用二氯硅烷。 本次修订的主要技术内容有： ——更改了范围（见第1章，2020年版的第1章）； ——更改了二氯硅烷应符合的技术要求（见第4章，2020年版的第3章）； ——更改了采样的要求（见第5章，2020年版的4.2）； ——更改了纯度计算方法（见6.1，2020年版的5.1）； ——更改了四氯化硅、三氯氢硅、一氯硅烷+氯化氢、氮、氧+氩、一氧化碳、氢、二氧化碳含量的测定方法（见6.2，2020年版的5.2）； ——更改了甲烷含量的测定方法（见6.2,2020年版的5.3）； ——更改了金属元素和其他元素的测定方法（见6.3,2020年版的5.4）； ——更改了检验规则（见第7章，2020年版的4.1）； ——更改了标志、包装、运输及贮存的要求（见8.1、8.2,2020年版的6.1、6.2）； ——更改了安全信息的要求（见8.3,2020年版的6.3）。
