电子气体 六氟乙烷
Electronic gas—Hexafluoroethane
国家标准项目 修订 推荐性
国家标准项目《电子气体 六氟乙烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 福建德尔科技股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、广东华特气体股份有限公司 、金宏气体股份有限公司 、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 。
基础信息
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 12个月
- 公示开始日期
- 2026-09-20
- 公示截止日期
- 2026-10-20
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
起草单位
范围和主要技术内容
本文件规定了电子用六氟乙烷的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相关的试验方法，提供了六氟乙烷的安全信息。 本文件适用于以工业六氟乙烷或其他卤代烃为原料制备的电子工业用六氟乙烷。 本次修订的主要技术内容有： ——更改了范围（见第1章，2017年版的第1章）； ——更改了六氟乙烷应符合的技术要求（见第4章，2017年版的第3章）； ——更改了采样的要求（见第5章，2017年版的4.1.2）； ——更改了纯度计算方法（见6.1，2017年版的4.2）； ——更改了氧+氩、氮、氢、一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物、卤代烃含量的测定方法（见6.2，2017年版的4.3）； ——增加了二氟乙烷、六氟化硫的测定方法（见6.2）； ——更改了水分含量的检测方法（见6.3，2017年版的4.4）； ——更改了氟化氢含量的测定方法（见6.4，2017年版的4.5）； ——更改了检验规则（见第7章， 2017年版的4.1）； ——更改了标志、包装、运输及贮存的要求（见8.1、8.2,2017年版的5.1）； ——更改了安全信息的要求（见8.3,2017年版的5.2）
