电子气体 硅烷
Electronic gas-Silane
国家标准项目 修订 推荐性
国家标准项目《电子气体 硅烷》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 浙江中宁硅业股份有限公司 、安徽湛为气体有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、西南化工研究设计院有限公司 。
基础信息
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 12个月
- 公示开始日期
- 2026-09-20
- 公示截止日期
- 2026-10-20
- 标准类别
- 产品
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准委
起草单位
范围和主要技术内容
本文件规定了硅烷的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。 本次修订的主要技术内容有： ——更改了范围（见第1章，2017年版的第1章）； ——更改了硅烷应符合的技术要求（见第4章，2017年版的第3章）； ——更改了采样的要求（见第5章，2017版的4.1.2）； ——更改了氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、乙硅烷含量的测定方法（见6.2，2017年版的4.4）； ——更改了氯硅烷含量的测定方法（见6.3，2017年版的4.4）； ——增加了氟离子的检测方法（见6.4）； ——更改了金属元素及其他元素含量的测定方法（见6.5，2017年版的4.6）； ——增加了尾气处理的要求（见6.6）； ——更改了检验规则（见第7章， 2017年版的4.1）； ——更改了标志、包装、运输及贮存的要求（见8.1、8.2,2017年版的5.1）； ——更改了安全信息的要求（见8.3,2017年版的5.2）
