国家标准项目《气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院有限公司 、上海云必科技有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

本文件规定了用光散射法测定管道气体中颗粒含量的测定方法，描述了方法原理、试验条件、试剂与材料、仪器设备、采样、试验步骤、精密度和测量不确定度、质量保证和控制、试验报告等。 本文件适用于半导体、生物医药、精密加工等高新技术制造业管道用气，包括氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪等气体及其混合气体的颗粒含量的测定。本文件不适用于瓶装气体、以液相状态存在的气体，以及含有油污或腐蚀性物质的气体。 本部分适用于颗粒直径为0.1μm～10μm的测定。 本次修订的主要技术内容如下： ——更改了范围（见第1章，2011年版的第1章）； ——更改了规范性引用文件（见第2章，2011年版的第2章）； ——更改了术语和定义（见第3章，2011年版的第3章）； ——更改了方法原理（见第4章，2011年版的第4章）； ——增加了试验条件的要求（见第5章）； ——增加了试剂与材料的要求（见第6章，2011年版的6.1）； ——更改了仪器设备的要求（见第7章，2011年版的第5章和第7章）； ——更改了采样的要求（见第8章，2011年版的6.2和6.3）； ——删除了结果判别的要求（2011年版的8.2） ——更改了试验步骤的要求（见第9章，2011年版的6.4）； ——增加了数据处理的要求（见第10章，2011年版的8.1）； ——增加了精密度和测量不确定度的要求（第11章、附录A）； ——增加了质量保证和控制的要求（见第12章）； ——更改了试验报告的要求（见第13章，2011年版的第10章）。